超洁净的“悬空”厂房

　　穿上抗静电的洁净服、鞋子、手套、口罩后，经过风淋房将身上的微尘全部吹走……每天，上海微技术工业研究院MEMS技术工程总监徐元俊和他的同事们，都把自己装扮成超洁净的“白企鹅”，才能进入8英寸“超越摩尔”研发中试线，近5000平方米的十级洁净室，要求一分钟内每立方英尺空间内，大于0.2微米的微尘少于10颗！超级洁净室共有4个区域，分别为光刻区、薄膜区、刻蚀区和扩散区。硅片在“淬炼”成晶圆成品的100至200道工序中，不可沾染微尘，否则可能前功尽弃。

　　为此，整座厂房的设计费尽思量——层高8.8米的二楼分为3层，整个“中试线”的主要设备似乎“悬空”在中间层——看不见的上下两层，除铺设供应气体和化学品的管道外，还布满了用于“清洗”空气的设施。

　　“8英寸”产线国际领先

　　这样的精益求精，只为我国在“超越摩尔”领域真正有所作为。上海微技术工业研究院8英寸研发中试线厂长、运营副总裁游家杰指着闪闪发光的硅片，如数家珍：“一片8英寸晶圆直径达20厘米，分布着几百颗到数万颗不等的元器件。”要知道，在“超越摩尔”领域，业界还普遍使用6英寸产线，上海中试线却亮出了国际领先却少人问津的“8英寸”。

　　在这条全新的试验线上，每一位“超越摩尔”人心中都有一个信念：喜庆十九大，我国的科学创新必须从“跟跑”到“领跑”，前沿技术的中试环节要敢为人先！

　　纵观我国超越摩尔领域现状，经历多年的理论研究与技术验证，但实际应用与生产平台严重脱节。这源于微机电系统产品研发涉及的技术链条较长，其“非标”特性使得研发创新和生产之间匹配度不高，需要漫长的磨合期。

　　贯通研发到测试“闭环”

　　上月，作为上海科创中心建设“四梁八柱”中的重要节点之一，国内首条专注“超越摩尔”领域，面向微机电系统的8英寸中试线亮相，在国内半导体产业界引发了一场不小的“创新地震”——从前期研发到后期测试“闭环”有望被贯通。

　　一个月来，“超越摩尔”中试线上灯火通明，各岗位科技人员用实际行动迎接十九大的召开：为本月底即将完成的第一批产品温度传感器紧张忙碌着。一旦成功，这条月产量3000片晶圆的中试线，将为许多实验室里尖端的传感器技术，铺设一条走向市场的“光辉之路”。 本报记者  马亚宁