随着信息社会的发展，集成电路也就是通俗说的“芯片”，真正成为手机、电脑、电视等各种电子终端的“心脏”。 要把一块体积小巧、功能强大的集成电路芯片制造出来，除了电路设计外，更离不开将设计图型转换成高性能芯片的制造设备，而其中最关键就是光刻机。光刻机在国家“十五”、“十一五”、“十二五”发展规划中都被定义为重点制造装备，并被列入国家科技重大专项。十年前，科技部“十五”科技专项100nm高端光刻机的研制落户上海，由上海微电子设备有限公司承担。